特許
J-GLOBAL ID:200903031318541980
光走査装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
牛久 健司 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-123043
公開番号(公開出願番号):特開平8-327927
出願日: 1995年04月25日
公開日(公表日): 1996年12月13日
要約:
【要約】【目的】 共振周波数を低下させることなく光の走査角度を大きくできる光走査装置を提供する。【構成】 スキャナ箱状体2は,光を反射させるミラー部25と,方形状のフレーム部24と,ミラー部25とフレーム部26を連結する少なくとも1つの共振振動モードを有する弾性変形部26とが形成されたスキャナ基板20および,このスキャナ基板20を挟んで接合された2枚の保護基板30,40から構成される。フレーム部26と保護基板30,40とが形成する内部空間が封止かつ減圧されている。圧電アクチュエータ3を駆動し,弾性変形部26を外部から共振振動させることによって,ミラー部25は密閉空間内において振動し,ミラー部25で反射した光は一次元または二次元的に走査される。
請求項(抜粋):
内部に密閉された空間を有する箱状体を備え,上記箱状体の内部に,光を反射させるミラー部が,上記箱状体に取付けられた少なくとも一つの共振振動モードを有する弾性変形部によって変位自在に支持されており,上記箱状体の内部が減圧されている光走査装置。
IPC (3件):
G02B 26/10 101
, H01L 41/09
, G01B 11/24
FI (3件):
G02B 26/10 101
, G01B 11/24 C
, H01L 41/08 C
引用特許:
審査官引用 (2件)
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光スキャナー
公報種別:公開公報
出願番号:特願平5-239665
出願人:キヤノン株式会社
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特開平4-211218
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