感光性透明絶縁膜材料、感光性エレメント及びこれらを用いた透明絶縁膜の製造方法

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：穂高哲夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-071008
公開番号（公開出願番号）：特開2000-267277
出願日： 1999年03月16日
公開日（公表日）： 2000年09月29日
要約：

【要約】【課題】透明性、感度、解像度及び絶縁性に優れる感光性透明絶縁膜材料及び感光性エレメントと、それを用いた透明絶縁膜の製造法を提供すること。【解決手段】一般式(I)及び(II)で表される繰り返し単位を有する樹脂(a)、一般式(III)で表される樹脂(b)、光重合性モノマー及び光開始剤からなる感光性透明絶縁膜材料、この材料の膜を支持体上に有する感光性エレメント、基板上にこの材料の膜を形成し、露光、現像することによる透明絶縁膜の製造法。【化1】(一般式(II)で表される繰り返し単位の少なくとも一部が、R4及びR5のうち少なくとも一方として光反応性不飽和結合を有する基を有する。Xは水素原子又は-CO-Y-COOHを示し、ただし、全X中の-CO-Y-COOH/-Hの当量比が1/9以上である。)

請求項（抜粋）：

樹脂(A)、光重合性モノマー(B)及び光開始剤(C)からなる感光性透明絶縁膜材料において、樹脂(A)が、下記一般式(I)【化1】(ただし、式中、R1は水素原子又はメチル基を示し、R2及びR3はそれぞれ独立に水素原子、水酸基、炭素数1〜12のアルキル基又は炭素数1〜12のアルコキシ基を示す)で表される繰り返し単位及び下記一般式(II)【化2】(ただし、式中、R4及びR5は、それぞれ独立に水素原子、炭素数1〜12のアルキル基又は光反応性不飽和結合を有する基を示し、R6は水素原子又は炭素数1〜12のアルキル基を示す。)で表される繰り返し単位を、一般式(I)/一般式(II)(モル比)が1/1〜5/1の比率で有し、一般式(II)で表される繰り返し単位の少なくとも一部が一般式(II)においてR4及びR5のうち少なくとも一方が光反応性不飽和結合を有する基である繰り返し単位である樹脂(a)と下記一般式(III)【化3】(式中、Aはベンゼン核、ナフタレン骨格又はビフェニル骨格を示し、R7は水素原子又はメチル基を示し、R8は水素原子又は炭素数1〜6のアルキル基を示し、Xは水素原子又は-CO-Y-COOH(ただし、Yは酸無水物の残基を表す)を示し、ただし、全X中の-CO-Y-COOH/-Hの当量比が1/9以上であり、nは0〜15の整数を示す。)で表される樹脂(b)を含有することを特徴とする感光性透明絶縁膜材料。

IPC (8件)：

G03F 7/038 501 , C08K 5/07 , C08K 5/3492 , C08L 25/00 , G02B 5/00 , G02B 5/20 101 , G03F 7/028 , C08G 59/17

FI (8件)：

G03F 7/038 501 , C08K 5/07 , C08K 5/3492 , C08L 25/00 , G02B 5/00 B , G02B 5/20 101 , G03F 7/028 , C08G 59/17

Fターム (58件)：

2H025AA00 , 2H025AA01 , 2H025AA02 , 2H025AA04 , 2H025AA20 , 2H025AB11 , 2H025AB13 , 2H025AC01 , 2H025AC08 , 2H025AD01 , 2H025BC12 , 2H025BC14 , 2H025BC31 , 2H025BC34 , 2H025BC43 , 2H025BC62 , 2H025BC72 , 2H025BC82 , 2H025BC85 , 2H025BC86 , 2H025CA00 , 2H025CA02 , 2H025CA14 , 2H025CA28 , 2H025CB10 , 2H025CB16 , 2H025CB43 , 2H025CB45 , 2H025CB51 , 2H025CB52 , 2H025CB55 , 2H025DA19 , 2H025DA20 , 2H025EA08 , 2H025FA17 , 2H042AA06 , 2H042AA26 , 2H048BA48 , 4J002BC01W , 4J002BH02W , 4J002CC11X , 4J002CD05X , 4J002CD20X , 4J002EE036 , 4J002EH077 , 4J002EU186 , 4J002FD206 , 4J002GQ01 , 4J036AE05 , 4J036CA21 , 4J036CA24 , 4J036EA04 , 4J036FB03 , 4J036FB04 , 4J036FB09 , 4J036FB10 , 4J036HA02 , 4J036JA15

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