透過型光電面、その製造方法、及びそれを用いた光電変換管

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：長谷川芳樹 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-020123
公開番号（公開出願番号）：特開平9-213206
出願日： 1996年02月06日
公開日（公表日）： 1997年08月15日
要約：

【要約】【課題】光電感度及び時間応答特性が両立した構成が単純な透過型光電面と、その製造方法及びそれを用いた光電変換管を提供することを目的とする。【解決手段】窓層(31)の一面にGaAsからなる活性層(32)が従来より薄く形成され、活性層(32)上面端部及び中央部にCrからなる電極とCs2Oからなる極薄の表面層(33)が形成されている。窓層(31)の他面に略半球状凹部が規則的に配列して微小な凹凸が多数形成され、その上に反射防止膜(20)を介してガラス面板(10)が密着するように配置され、被検出光を窓層方向に拡散させる光拡散面がガラス面板(10)及び窓層(31)と反射防止膜(20)との界面に形成される。この単純な構成でも、ガラス面板(10)から入射して光拡散面で拡散された被検出光が、薄い活性層(32)内で十分吸収されて光電子が短時間で外部に放出される。

請求項（抜粋）：

ガラス面板上に、検出対象である被検出光の反射防止膜を介して密着するように設けられた透過型光電面において、前記反射防止膜上にIII-V族化合物半導体によって形成され、前記被検出光よりも短波長の光を遮断する窓層と、前記窓層上に前記窓層よりもバンドギャップエネルギが小さいIII-V族化合物半導体によって形成され、前記被検出光を吸収して光電子を発生させる活性層と、を少なくとも備え、前記窓層及び前記ガラス面板と前記反射防止膜の各々の界面は、前記ガラス面板を介して入射された前記被検出光を前記活性層の方向に拡散させ得る程度の微小な凹凸を多数有する光拡散面をなしていることを特徴とする透過型光電面。

IPC (6件)：

H01J 1/34 , H01J 29/45 , H01J 31/49 , H01J 31/50 , H01J 40/06 , H01L 31/10

FI (6件)：

H01J 1/34 C , H01J 29/45 L , H01J 31/49 B , H01J 31/50 D , H01J 40/06 , H01L 31/10 A

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