特許
J-GLOBAL ID：200903031354380259

パターン検査装置

発明者：
森田 典雄

森田 典雄 について

, 
赤木 祐司

赤木 祐司 について


出願人/特許権者：
大日本スクリーン製造株式会社

大日本スクリーン製造株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-167330
公開番号（公開出願番号）：特開2001-344594
出願日： 2000年06月05日
公開日（公表日）： 2001年12月14日
要約：
【要約】【課題】 プリント基板などの被検査物の歪み具合を認識するための情報を取得することができるパターン検査装置を提供する。【解決手段】そこでこの発明では、排他的論理和回路群91の各個所にEx-OR90をそれぞれ設けて、各個所において被検査パターンを含む被検査領域内の被検査画像と所定画素だけずらされた標準区画画像との排他的論理和を画素ごとに求めて、双方が一致する個所(「1」)を特定し、この個所における基準位置に対する基準パターンのずれ量を、X方向ずれ量検出部97およびY方向ずれ量検出部96により求める。
請求項（抜粋）：
被検査パターンを有する被検査画像と、比較基準となる標準パターンを有する標準画像とを比較することにより、基準位置に対する被検査画像の相対的なずれ量を測定するパターン検査装置において、前記被検査画像を入力する被検査画像入力手段と、前記標準画像を入力する標準画像入力手段と、前記被検査画像が分割された被検査区画画像を含む被検査領域内の被検査パターンと、前記標準画像が分割された標準区画画像内の標準パターンとを各区画においてそれぞれ比較して、被検査パターンと標準パターンとがほぼ一致するときの基準位置に対する被検査パターンの相対的なずれ量を各区画ごとにそれぞれ求めるずれ量検出手段と、ずれ量検出手段により求めた各区画におけるずれ量をそれぞれ記憶する記憶手段と、を有することを特徴とするパターン検査装置。
IPC (2件)：
G06T 1/00 305 ,  G01B 11/24
FI (3件)：
G06T 1/00 305 C ,  G01B 11/24 K ,  G01B 11/24 F
Fターム (32件)：
2F065AA20 ,  2F065AA51 ,  2F065BB02 ,  2F065CC01 ,  2F065CC25 ,  2F065DD06 ,  2F065FF42 ,  2F065FF61 ,  2F065HH12 ,  2F065HH14 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ26 ,  2F065QQ04 ,  2F065QQ23 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ28 ,  2F065QQ38 ,  2F065QQ47 ,  2F065RR02 ,  2F065RR08 ,  2F065SS02 ,  2F065SS13 ,  5B057AA03 ,  5B057BA19 ,  5B057CA12 ,  5B057CB12 ,  5B057CH11 ,  5B057DA03 ,  5B057DA07 ,  5B057DB02
引用特許：
審査官引用 (11件)
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