特許
J-GLOBAL ID：200903031364213954
ウェーハ洗浄装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
志賀 正武 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-006913
公開番号（公開出願番号）：特開平6-069176
出願日： 1992年01月17日
公開日（公表日）： 1994年03月11日
要約：
【要約】【目的】 少量の洗浄水で効果的にウェーハの洗浄を行うことのできるウェーハ洗浄装置を得る。【構成】 ウェーハの貼着されたキャリアプレート12が収納可能な水槽2の底部に、キャリアプレート12を傾斜した状態で支持する支持板8...を立設し、水槽2の上部に、キャリアプレート12...の被洗浄面に向けてシャワー状の圧力水を噴射するスプレーノズル16...を設ける。
請求項（抜粋）：
キャリアプレートに被研磨面の裏面を貼着されたウェーハの、被研磨面の洗浄を行うウェーハ洗浄装置であって、前記キャリアプレートが収納可能な水槽と、前記水槽の底部に立設され、前記キャリアプレートを支持するプレート支持部と、前記水槽の上部に設けられ、前記プレート支持部に支持されたキャリアプレートの被洗浄面を含む平面に対して傾斜した状態でシャワー状の圧力水を噴射するスプレーノズルとを備えたことを特徴とするウェーハの洗浄装置。
IPC (3件)：
H01L 21/304 341
, H01L 21/304 321
, B08B 11/02
