特許
J-GLOBAL ID：200903031367001770
ベーパー洗浄装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井内 龍二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-282944
公開番号（公開出願番号）：特開平6-132271
出願日： 1992年10月21日
公開日（公表日）： 1994年05月13日
要約：
【要約】【構成】 洗浄室11に薬液と溶媒との混合ベーパーを噴出させるノズル40を備えたベーパー洗浄装置において、ノズル40に薬液タンク21及び溶媒タンク22がそれぞれ直接的に接続され、ノズル40内部に薬液ベーパーと溶媒ベーパーとを混合する混合部43が形成される一方、ノズル40に加熱手段としてのヒータ44a、44bが埋設あるいは外装されているベーパー洗浄装置。【効果】 薬液ベーパーや溶媒ベーパーの遮断、凝集を抑制することができ、薬液ベーパーと溶媒ベーパーとを所望の比率に、かつ均一に混合してウエハ表面に噴出させることができる。したがって、ウエハ12の洗浄側面12aにパーティクルや残留物が生成するのを抑制することができ、ウエハ12の洗浄側面12aのエッチング処理を均一的に行うことができる。
請求項（抜粋）：
洗浄室に薬液と溶媒との混合ベーパーを噴出させるノズルを備えたベーパー洗浄装置において、前記ノズルに薬液タンク及び溶媒タンクがそれぞれ直接的に接続され、前記ノズル内部に薬液ベーパーと溶媒ベーパーとを混合する混合部が形成される一方、前記ノズルに加熱手段が埋設あるいは外装されていることを特徴とするベーパー洗浄装置。
IPC (2件)：
H01L 21/304 341
, B08B 3/02
