感光性樹脂組成物およびこれを用いたパターン形成方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-296954
公開番号（公開出願番号）：特開平6-148895
出願日： 1992年11月06日
公開日（公表日）： 1994年05月27日
要約：

【要約】【構成】本発明は、アルカリ可溶性シロキサンポリマー、光によって反応促進剤を発生する化合物、および溶剤を主成分とする感光性樹脂組成物において、アルカリ可溶性シロキサンポリマーが、アルコキシシランに水および触媒を加えて加水分解縮合させた反応溶液から、水および触媒を除去して得られるアルカリ可溶性シロキサンポリマーであることを特徴とする感光性樹脂組成物およびこれを用いたパターン形成方法に関する。【効果】本発明の感光性樹脂組成物は、塗布性に優れており、塗布後の被膜にムラ、筋などの欠陥が発生しない。また、保存中も粘度変化、塗布性劣化がなく、保存安定性が優れている。さらに、プロセスラティチュードが広く、パターン加工容易性を有している。

請求項（抜粋）：

(1)アルカリ可溶性シロキサンポリマー、(2)光によって反応促進剤を発生する化合物、および(3)溶剤を主成分とする感光性樹脂組成物において、アルカリ可溶性シロキサンポリマーが、アルコキシシランに水および触媒を加えて加水分解縮合させた反応溶液から、水および触媒を除去して得られるアルカリ可溶性シロキサンポリマーであることを特徴とする感光性樹脂組成物。

IPC (4件)：

G03F 7/075 511 , C08L 83/04 LRS , G03F 7/004 503 , H01L 21/027

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