特許

J-GLOBAL ID：200903031398350519

表面欠陥検出方法

発明者： 内田 洋之 ,  守屋 進 ,  市川 文彦
出願人/特許権者： 川崎製鉄株式会社
代理人 (1件)： 小杉 佳男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-301783
公開番号（公開出願番号）：特開平9-145636
出願日： 1995年11月20日
公開日（公表日）： 1997年06月06日
要約：

【要約】【課題】表面研削処理の行われた被検査材表面の凹凸性欠陥を的確に検出する表面欠陥検出方法を提供することを目的とする。【解決手段】表面研削処理の行われた被検査材10表面が二次元的に複数の領域に分割されて成る各領域に、該各領域内の研削された部分の面積割合に対応する各評価値を対応づけ、これら各評価値から成る二次元画像23をしきい値処理することにより被検査材表面の凹凸性欠陥を検出する。

請求項（抜粋）：

表面研削処理の行われた被検査材表面が二次元的に複数の領域に分割されて成る各領域に、該各領域内の研削された部分の面積割合に対応する各評価値を対応づけ、これら各評価値から成る二次元画像をしきい値処理することにより被検査材表面の凹凸性欠陥を検出することを特徴とする表面欠陥検出方法。

IPC (4件)：

G01N 21/89 ,  G01B 11/30 ,  G01N 21/88 ,  G06T 7/00

FI (4件)：

G01N 21/89 B ,  G01B 11/30 E ,  G01N 21/88 J ,  G06F 15/62 400