特許

J-GLOBAL ID：200903031403623847

微粒子計測装置

発明者： 武田 一男 ,  平岩 篤 ,  伊藤 嘉敏 ,  須田 匡
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所 ,  日立電子エンジニアリング株式会社
代理人 (1件)： 中村 純之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-184613
公開番号（公開出願番号）：特開平7-043300
出願日： 1993年07月27日
公開日（公表日）： 1995年02月14日
要約：

【要約】【目的】 半導体製造プロセスで使用される液体のダストモニタとして、ダストである微粒子を気泡と区別して1個単位で粒径の計測ができ、かつ、微粒子の物質をも同定できる微粒子計測装置を実現する。【構成】 液体を流すフローセル1の上流側3と下流側3′とに光照射して、微粒子からの散乱光で微粒子の計測を行う装置において、フローセル1中に電極2を設置して電場を印加し、上記微粒子を電気泳動させ、その変位量をアレイ型光検出器5、5′で検出し、液中に含まれる微粒子を気泡と区別して粒径を測定し、かつ、該微粒子の物質の弁別をも行う。

請求項（抜粋）：

光散乱によって液体中の微粒子を計測する微粒子計測装置において、流れている液体中に該液体の流れに対して垂直方向に電場を印加する手段と、上記電場による上記微粒子の電場方向への変位量を測定する手段とを設けたことを特徴とする微粒子計測装置。