特許
J-GLOBAL ID：200903031406311692
LSI検査装置及び方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-169054
公開番号（公開出願番号）：特開平7-072206
出願日： 1992年06月26日
公開日（公表日）： 1995年03月17日
要約：
【要約】【目的】 LSIの不良原因を電気的につきとめる装置および方法で、しかも専門知識に基づいたエキスパートを有するシステムで自動的に結論を導き、不良原因解明を自動的に短時間で処理することによって、歩留りの向上にも寄与する。【構成】 メモリテスタとプロセス技術者と回路技術者とレイアウト技術者のエキスパートノウハウを入れたパーソナルコンピュータで、メモリテスタからのテスト結果を受け取ったパーソナルコンピュータが、エキスパートのノウハウを参照して次に行うテストをメモリテスタに指示を与えることにより、あたかも設計技術者がメモリテスタと対話しながらテストを行うようにして自動的にLSIの不良原因をつきとめる。まず、テスターからのビットマップ情報をメインエキスパートで分類し、その結果に応じたサブエキスパートが起動し、不良原因を自動的に短時間でつきとめる。これらの結果を統計的に処理することで、歩留りを決定している要因を分析し、歩留り向上にも寄与する。
請求項（抜粋）：
メモリLSIを電気的に検査する装置において、複数の検査項目を有し、第一の検査項目の結果を決断して第二の検査項目を選択するExpertを有するシステムの指示に従って検査を行うLSI検査装置。
IPC (4件)：
G01R 31/28
, G01R 31/26
, G11C 29/00 303
, H01L 21/66
