特許
J-GLOBAL ID：200903031412205659
熱処理用カーボン部材およびその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
泉 克文
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-007000
公開番号（公開出願番号）：特開平6-216225
出願日： 1993年01月19日
公開日（公表日）： 1994年08月05日
要約：
【要約】【目的】 ガラス状カーボンの持つ特性を生かしながら熱処理を行なえるようにする。【構成】 ガラス状カーボンにより本体部11を形成し、等方性カーボンまたはカーボン繊維強化カーボン複合材により係止部12を形成する。両部材11、12をガラス状カーボンにより接合・一体化して、ウエハ支持ディスク10を形成する。
請求項（抜粋）：
ガラス状カーボンよりなる第1要素と、等方性カーボンおよびカーボン繊維強化複合カーボン材の少なくとも一つよりなる第2要素とから構成され、前記第1要素および前記第2要素がガラス状カーボンによって互いに接合されていることを特徴とする熱処理用カーボン部材。
引用特許：
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