特許

J-GLOBAL ID：200903031414476404

混合装置

発明者： 角掛 泰洋 ,  岩田 照史 ,  舟橋 達也 ,  吉倉 博史 ,  藤沼 勇二
出願人/特許権者： トキコ株式会社
代理人 (1件)： 三戸部 節男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-310423
公開番号（公開出願番号）：特開2000-135426
出願日： 1998年10月30日
公開日（公表日）： 2000年05月16日
要約：

【要約】【課題】 薬液の混合製造動作中に緊急停止がかかると、薬液混合が途中であっても液供給が遮断され、薬液貯留タンク内の薬液濃度が設定値と異なる状態になる。【解決手段】 成分の異なる液体がそれぞれ流れる供給ライン4〜6にそれぞれ設けられた計量手段7〜9及び弁手段12〜14とにより複数の成分の液体を所定の比率で混合させるが、緊急停止信号の発生時に前記弁手段12〜14のいずれかが開弁中の場合には前記計量手段7〜9からの信号でそれぞれの液体が所定量に達するまでは供給ライン4〜6から貯留タンク15への液体の供給を継続するようにした。

請求項（抜粋）：

成分の異なる液体がそれぞれ流れる複数の供給ラインと、この供給ラインにそれぞれ設けられた計量手段及び弁手段と、前記計量手段により複数の成分の液体を所定の比率で混合させて貯留タンクに溜めるように前記計量手段からの信号で前記弁手段を制御するようにした混合装置において、緊急停止信号の発生時に前記弁手段が開弁中の場合には前記計量手段からの信号でそれぞれの液体が所定量に達するまでは供給ラインから前記貯留タンクへの液体の供給を継続する継続手段を設けたことを特徴とする混合装置。

IPC (2件)：

B01F 15/04 ,  H01L 21/304 648

FI (2件)：

B01F 15/04 D ,  H01L 21/304 648 G

Fターム (7件)：

4G037BA01 ,  4G037BC02 ,  4G037BD04 ,  4G037BD09 ,  4G037BE03 ,  4G037BE04 ,  4G037EA10