めっき装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：熊谷隆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-042945
公開番号（公開出願番号）：特開2000-239898
出願日： 1999年02月22日
公開日（公表日）： 2000年09月05日
要約：

【要約】【課題】処理槽間の移送は被めっき基板単独とすることで処理槽からの液の持ち出し量を軽減すると共に、被めっき基板の口径が大きくともめっき液等の液深さによって該被めっき基板に形成されている微細な溝や穴への液の浸透に影響されることなく、全ての微細な溝や穴に均等にめっき液等の液が浸透できるめっき装置を提供すること。【解決手段】被めっき基板をめっき槽内のめっき液中に垂直状態に浸漬し配置し、めっきを行うめっき装置において、被めっき基板40の反めっき面側面がめっき液に接触しないように保持する基板装着治具30と、基板装着治具30を上下動する上下動機構を具備し、めっきを行う際、めっき槽10の上方の所定の位置で基板装着治具30に被めっき基板40を装着し、上下動機構により被めっき基板40を基板装着治具30ごとめっき槽10内のめっき液中に浸漬し、めっきが終了した際、基板装着治具30をめっき槽10上方の所定の位置まで上昇させ、該位置で被めっき基板40を基板装着治具30から取り出すようにした。

請求項（抜粋）：

被めっき基板をめっき槽内のめっき液中に垂直状態に浸漬し配置し、めっきを行うめっき装置において、前記被めっき基板をその反めっき面及び側面がめっき液に接触しないように保持する基板装着治具と、該基板装着治具をめっき槽内に出し入れする上下動機構を具備し、めっきを行う際、前記めっき槽の上方の所定の位置で該基板装着治具に被めっき基板を装着し、該上下動機構により該被めっき基板を該基板装着治具ごと該めっき槽内のめっき液中に浸漬し、めっきが終了した際、該基板装着治具を該めっき槽上方の所定の位置まで上昇させ、該位置で被めっき基板を基板装着治具から取り出すように構成したことを特徴とするめっき装置。

IPC (5件)：

C25D 17/06 , C23C 18/16 , C25D 21/00 , H01L 21/288 , H01L 21/68

FI (6件)：

C25D 17/06 C , C25D 17/06 F , C23C 18/16 C , C25D 21/00 E , H01L 21/288 M , H01L 21/68 N

Fターム (13件)：

4K022AA05 , 4K022AA41 , 4K022BA08 , 4K022DA01 , 4K022DB12 , 4K022DB15 , 4M104DD52 , 4M104DD53 , 5F031CA02 , 5F031HA24 , 5F031HA28 , 5F031HA29 , 5F031MA25

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