放射感受性の組成物及び方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：川口義雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-304792
公開番号（公開出願番号）：特開平5-249662
出願日： 1992年10月16日
公開日（公表日）： 1993年09月28日
要約：

【要約】【目的】本発明は解像度を向上したレリーフ像を得る、放射感受性組成物及び方法を提供する。【構成】極性化合物を放射線感受性組成物に添加して、その組成物の層を支持体に塗布する。組成物層を活性化放射に露光し、それにより極性化合物で錯化された酸部分の分布を含む潜像を発生させる。露光した組成物層を処理して活性化量の酸を得て、光発生酸の拡散を制御する。

請求項（抜粋）：

樹脂結合剤、酸発生剤化合物、及び錯化する極性化合物から成る、放射感受性組成物。

IPC (7件)：

G03F 7/004 515 , G03F 7/004 501 , G03F 7/004 503 , G03F 7/028 , G03F 7/032 , G03F 7/30 , G03F 7/38 501

引用特許：

審査官引用 (11件)

特開平2-296250
特開平1-300250
特開平2-118651

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