特許

J-GLOBAL ID：200903031421223880

赤外線センサ

発明者： 上嶋 啓史 ,  山田 学 ,  田草川 守
出願人/特許権者： 日本電装株式会社
代理人 (1件)： 藤谷 修
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-338850
公開番号（公開出願番号）：特開平7-151609
出願日： 1993年12月01日
公開日（公表日）： 1995年06月16日
要約：

【要約】【目的】従来以上に赤外線センサの高速化、高感度化をはかること。【構成】図1は熱型赤外線センサの回路図で、R1は正特性サーミスタ、R2は負特性サーミスタであり、R1、R2が赤外線を吸収する。R3、R4はR1、R2と同一構成のサーミスタであるが、赤外線を吸収しない。構造は、R1、R2が形成された温度感応膜が、およそ1μmの厚さで支持層の4本の支持梁によって断熱的に周囲の基板に支えられ、R1、R2上には絶縁層と赤外線吸収膜がある。R3、R4は、基板の温度を反映した電位となり基板温度の影響を相殺する。R1、R2上に照射された赤外線は赤外線吸収膜に熱吸収され、サーミスタがお互いに反対の係数であるので出力電位は大きな変化となって現れる。即ち本センサは、検出センサの温度に依存しない、赤外線による温度変化のみを従来より大きい電圧として出力する。

請求項（抜粋）：

赤外線吸収膜で覆われた抵抗体ホイートストーンブリッジにより、被検出対象の赤外線を吸収して、該ホイートストーンブリッジ間の電圧として信号を出力する赤外線センサにおいて、正特性のサーミスタ抵抗体と負特性のサーミスタ抵抗体とが直列に接続された2個の抵抗体による第一抵抗対が、前記ホイートストーンブリッジの電源間の二辺を成して当該赤外線が照射される薄い温度感応膜に形成された検出端であり、第一抵抗対と同一のサーミスタ抵抗体による第二抵抗対が前記ホイートストーンブリッジの電源間の他の二辺を成して、該赤外線センサの基板の温度を反映した電位を出力とする参照端であることを特徴とする赤外線センサ。

IPC (3件)：

G01J 5/20 ,  G01J 1/42 ,  H01L 37/00

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 赤外線センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-215058   出願人：秩父セメント株式会社
• 特開平2-201229
  
• 特開平2-201229