レーザビームの走査方法およびその装置

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小川勝男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-262997
公開番号（公開出願番号）：特開2001-083452
出願日： 1999年09月17日
公開日（公表日）： 2001年03月30日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】紫外から遠紫外の領域においても高速で高効率なレーザビーム走査を行う方法及び装置を提供する。【解決手段】複数個のポリゴンミラー108,109を、構成する各ミラーを個数分の1だけ位相をずらして重ね回転させ、入射するレーザビーム104をA/O変調器105で各ポリゴンミラー面の有効走査時間内にレーザ光が照射されるように、上下ポリゴンミラーへの照射を切り換える。また共振動作形ミラーを走査に使用することによっても同様の効果を得る。

請求項（抜粋）：

ミラー面の位相を互いにずらした複数個を重ねて構成したポリゴンミラーを回転させ、レーザビームをA/O変調器により前記ポリゴンミラーの回転に同期して変調させて前記回転する各ポリゴンミラーに切り換えて照射して走査することを特徴とするレーザビームの走査方法。

IPC (5件)：

G02B 26/10 102 , G02B 26/10 , G02B 26/10 104 , H04N 1/113 , G01B 11/30

FI (5件)：

G02B 26/10 102 , G02B 26/10 C , G02B 26/10 104 , G01B 11/30 A , H04N 1/04 104 A

Fターム (32件)：

2F065AA49 , 2F065FF01 , 2F065FF04 , 2F065GG04 , 2F065HH04 , 2F065JJ03 , 2F065JJ26 , 2F065LL14 , 2F065LL32 , 2F065LL57 , 2F065LL62 , 2F065MM16 , 2F065QQ03 , 2F065QQ11 , 2F065QQ25 , 2H045AA03 , 2H045AA04 , 2H045AB24 , 2H045AB38 , 2H045BA13 , 2H045BA43 , 2H045CB35 , 2H045DA02 , 2H045DA12 , 5C072AA03 , 5C072CA06 , 5C072DA21 , 5C072DA23 , 5C072HA02 , 5C072HA12 , 5C072HB06 , 5C072HB13

引用特許：

審査官引用 (6件)

光走査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-273438 出願人：旭光学工業株式会社
特開昭62-090615
特開昭62-109019

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