露光用マスク材料

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-119052
公開番号（公開出願番号）：特開2000-310848
出願日： 1999年04月27日
公開日（公表日）： 2000年11月07日
要約：

【要約】【課題】微細な画像の再現性にすぐれ、かつ簡便に露光用マスクを作成することができ、微細な非画像部が良好に再現される露光用マスク材料を提供する。【解決手段】ガラス基材とハロゲン化銀乳剤層の間に物理現像核層を有し、物理現像によりガラス基材上に厚さ1ミクロン以下の金属銀画像を形成し、該金属銀画像の最高光学濃度が1.0以上であるハロゲン化銀感光性露光用マスク材料において、該ハロゲン化銀乳剤層または/および該乳剤層より下の層に平均分子量が5万以下の低分子量ゼラチンを含有する露光用マスク材料。好ましくはガラス基材と物理現像核層の間に金属酸化物によって構成される層を含有する露光用マスク材料。より好ましくは上記低分子量ゼラチンがハロゲン化銀乳剤層に含有される露光用マスク材料。

請求項（抜粋）：

ガラス基材とハロゲン化銀乳剤層の間に物理現像核層を有し、物理現像によりガラス基材上に厚さ1ミクロン以下の金属銀画像を形成し、該金属銀画像の最高光学濃度が1.0以上であるハロゲン化銀感光性露光用マスク材料において、該ハロゲン化銀乳剤層または/および該乳剤層より下の層に平均分子量が5万以下の低分子量ゼラチンを含有することを特徴とする露光用マスク材料。

IPC (3件)：

G03F 1/08 , G03C 8/06 503 , H01L 21/027

FI (3件)：

G03F 1/08 J , G03C 8/06 503 , H01L 21/30 502 P

Fターム (12件)：

2H095BA01 , 2H095BB01 , 2H095BB08 , 2H095BB15 , 2H095BB19 , 2H095BB23 , 2H095BB35 , 2H095BC02 , 2H095BC06 , 2H095BC09 , 2H095BC20 , 2H095BC27

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