特許
J-GLOBAL ID：200903031424741726
レーザ加工装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
古谷 史旺 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-225059
公開番号（公開出願番号）：特開平10-058173
出願日： 1996年08月27日
公開日（公表日）： 1998年03月03日
要約：
【要約】【課題】 移動量を干渉計で測定するレーザ加工装置の使用環境変化による該測定値への影響を排除して、加工用レーザ光の光軸を加工位置に合わせる。【解決手段】 レーザ加工装置40は、加工レーザ12、アライメントレーザ13、X-Yステージ21、干渉計26、X-Yステージ21の移動・加工用レーザ光の照射を制御するメインコントローラ31を備える。メインコントローラ31は半導体ウェーハ1のアライメントマークA,Bの設計値を記憶すると共に上記マークA,B間の距離を干渉計26の測定用のレーザ光の波長を基準単位としたカウント値で求め、この値とその設計値とに基づいて、加工位置Dの設計値(Xd,Yd)を上記基準単位を用いた座標(Md,Nd)で表し、該座標(Md,Nd)でX-Yステージ21の移動/レーザ光の照射を行なう。
請求項（抜粋）：
加工用レーザ光を発生させる加工レーザと、アライメントマークを検出する検出手段と、被加工物が搭載されるステージと、前記ステージを前記加工レーザに対して移動させる移動手段と、前記ステージの移動量をレーザ光の波長を分割したものを基準単位とした数にて計測する干渉計と、前記移動手段による前記ステージの移動量を制御すると共に所望のレーザ加工位置に前記加工用レーザ光を照射する制御手段とを備えたレーザ加工装置において、前記制御手段は、前記被加工物上の少なくとも2つのアライメントマークの位置を示す設計値を記憶する設計値データ記憶部と、前記検出手段が前記少なくとも2つのアライメントマークの一方を検知したときの干渉計の計測値と、他方を検知したときの干渉計の計測値とを比較して、当該2つのアライメントマーク間の距離を干渉計に用いられているレーザ光の波長を分割したものを基準単位とした数にて求める測定部と、前記求められた数と前記少なくとも2つのアライメントマーク間の距離の設計値とに基づいて、所望のレーザ加工位置を、前記レーザ光の波長を分割したものを基準単位とした数を用いた座標で表す演算部とを有し、該制御手段は前記座標に基づいて前記ステージの移動量の制御を行うようにされてなることを特徴とするレーザ加工装置。
IPC (5件)：
B23K 26/02
, B23K 26/00
, B23K 26/08
, G01B 9/02
, G01B 11/00
B23K 26/02 A
, B23K 26/00 M
, B23K 26/08 D
, G01B 9/02
, G01B 11/00 G
