特許

J-GLOBAL ID：200903031428077952

インクジェットヘッドの製造方法

発明者： 中澤 明 ,  谷口 修 ,  菊地 英幸
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 宮内 佐一郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-181983
公開番号（公開出願番号）：特開平6-023994
出願日： 1992年07月09日
公開日（公表日）： 1994年02月01日
要約：

【要約】【目的】 インクジェットヘッドの製造方法に関し、高い印字品質を得ることを目的とする。【構成】 インク流路を形成するための型に光硬化樹脂を流し(a)、次にマスク部を所定の位置に設けるとともにマスク部の周辺を凸部とした凹凸構造の光透過性マスク板を前記光硬化樹脂上に乗せ(b)、次に露光して前記光硬化樹脂を硬化させ(c)、次に前記型を剥がし硬化しない樹脂部分を洗浄してノズルとインク流路を形成し(d)、次に振動板を前記光硬化樹脂に接着する(e)ようにした。

請求項（抜粋）：

インク流路を形成するための型に光硬化樹脂を流し(a)、次にノズルを形成するための光を遮断するマスク部を所定の位置に設けるとともにマスク部の周辺を凸部とした凹凸構造の光透過性マスク板を前記光硬化樹脂上に乗せ(b)、次に露光して前記光硬化樹脂を硬化させ(c)、次に前記型を剥がし硬化しない樹脂部分を洗浄してノズルとインク流路を形成し(d)、次に振動板を前記光硬化樹脂に接着する(e)ことを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。