特許

J-GLOBAL ID：200903031431816057

圧電膜型アクチュエータおよび液体噴射ヘッドとその製造方法

発明者： 香川 豊 ,  海野 章 ,  福井 哲朗
出願人/特許権者： キヤノン株式会社 ,  香川 豊
代理人 (1件)： 阪本 善朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-319381
公開番号（公開出願番号）：特開2002-134806
出願日： 2000年10月19日
公開日（公表日）： 2002年05月10日
要約：

【要約】【課題】 大面積で信頼性が高く、かつ低駆動電圧で大変位が得られ、応答速度が速く、かつ発生力が大きく、高集積化が可能な圧電膜型アクチュエータおよび液体噴射ヘッドとそれらの製造方法を提供する。【解決手段】 圧電膜1を中間転写体2上に多孔質層3(機械的剥離やウォータージェット法を利用する場合)を介して形成し、圧電膜1と振動板構造体4の振動板5の表面を金属層や合金層7、8を介して通電加熱、通電圧接、低温加熱等により両者を接合する。その後に、圧電膜1と中間転写体2の間の多孔質層3にウォータージェットを噴射させ、あるいは中間転写体2側からレーザ光を照射させることにより、中間転写体2を圧電膜1から剥離させる。このように、圧電膜1を形成する工程と圧電膜1を振動板構造体4に接合する工程を分離して、圧電膜1と振動板構造体4を強固に接合した圧電膜型アクチュエータを作製する。

請求項（抜粋）：

圧電膜と振動板構造体とが接合された圧電膜型アクチュエータの製造方法において、圧電膜を中間転写体上に形成する工程と、中間転写体上の圧電膜と振動板構造体を接合する工程と、中間転写体を圧電膜から剥離する工程を含むことを特徴とする圧電膜型アクチュエータの製造方法。

IPC (7件)：

H01L 41/22 ,  B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  B41J 2/16 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/187 ,  H04R 17/00

FI (6件)：

H04R 17/00 ,  H01L 41/22 Z ,  B41J 3/04 103 A ,  B41J 3/04 103 H ,  H01L 41/08 U ,  H01L 41/18 101 D

Fターム (24件)：

2C057AF55 ,  2C057AF69 ,  2C057AF93 ,  2C057AG16 ,  2C057AG39 ,  2C057AG44 ,  2C057AG55 ,  2C057AP02 ,  2C057AP14 ,  2C057AP22 ,  2C057AP23 ,  2C057AP27 ,  2C057AP32 ,  2C057AP33 ,  2C057AP47 ,  2C057AP52 ,  2C057AP57 ,  2C057AP75 ,  2C057AQ02 ,  2C057BA03 ,  2C057BA14 ,  5D004AA07 ,  5D004BB01 ,  5D004DD03