特許

J-GLOBAL ID：200903031436955462

表面洗浄改質装置

発明者： 旭 湧一 ,  旭 広秋
出願人/特許権者： 株式会社三矢産業
代理人 (1件)： 浅井 章弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-047758
公開番号（公開出願番号）：特開平8-222537
出願日： 1995年02月13日
公開日（公表日）： 1996年08月30日
要約：

【要約】【目的】 発熱量が非常に少ない低圧水銀の冷陰極管を用いて面光源化することにより、光の干渉を利用して紫外線源からある一定の距離範囲内においては紫外線量の減衰率がほとんど変わらない表面洗浄改質装置を提供する。【構成】 被処理体1の表面に水銀ランプ24から放出される紫外線を照射してその表面の洗浄または改質を行なう表面洗浄改質装置において、水銀ランプとして低圧水銀冷陰極管を用いる。これにより、面光源化を達成して光の干渉を利用することにより、光源からの一定の距離範囲内において紫外線量を均一化する。

請求項（抜粋）：

被処理体の表面に水銀ランプから放出される紫外線を照射してその表面の洗浄または改質を行なう表面洗浄改質装置において、前記水銀ランプは、特定波長の紫外線を主に放出する低圧水銀冷陰極管であることを特徴とする表面洗浄改質装置。