特許
J-GLOBAL ID：200903031449152717
インジウム-スズ酸化物透明導電膜の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-053122
公開番号（公開出願番号）：特開平6-243739
出願日： 1993年02月19日
公開日（公表日）： 1994年09月02日
要約：
【要約】【目的】 耐候性、耐久性に優れた、溶出不純物のない透明導電膜を得る。【構成】 焼成されたITO透明導電膜を超純水で洗浄し、乾燥後、不活性雰囲気中400°C以上の温度で熱処理する
請求項（抜粋）：
焼成されたインジウム-スズ酸化物透明導電膜を超純水で洗浄し、乾燥後、不活性ガス雰囲気中400°C以上の温度で熱処理することを特徴とするインジウム-スズ酸化物透明導電膜の製造方法。
IPC (2件)：
H01B 13/00 503
, H01B 5/14
