特許

J-GLOBAL ID：200903031454312242

CO検出用ガスセンサ

発明者： 金森 正晃
出願人/特許権者： エヌオーケー株式会社
代理人 (1件)： 吉田 俊夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-352413
公開番号（公開出願番号）：特開平10-170464
出願日： 1996年12月13日
公開日（公表日）： 1998年06月26日
要約：

【要約】【課題】 妨害ガスであるアルコール系ガスを含む雰囲気中においても連続検出が可能であり、かつCOガスに対する選択性を向上せしめたCO検出用ガスセンサを提供する。【解決手段】 金属酸化物半導体薄膜上に非晶質のアルミノシリケート被覆層が設けられたCO検出用ガスセンサ。COガス感応体としての金属酸化物半導体薄膜上に形成させた非晶質アルミノシリケート被覆層は、固体酸触媒としてアルコールのエチレンへの脱水反応を促進するものと考えられ、エチレンはアルコールと比較してガス感度が小さいので、相対的にCO選択性が向上するものと考えられる。また、このCO検出用ガスセンサは、動作温度を例えば300°Cとすることで一定時間毎の加熱が不要となり、連続的検出を可能とさせる。

請求項（抜粋）：

金属酸化物半導体薄膜上に非晶質のアルミノシリケート被覆層が設けられたCO検出用ガスセンサ。