特許

J-GLOBAL ID：200903031457427148

圧子押し込みによるヤング率評価装置

発明者： 山本 靖則 ,  村上 敬宜
出願人/特許権者： 株式会社島津製作所 ,  株式会社産学連携機構九州
代理人 (1件)： 河▲崎▼ 眞樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-065688
公開番号（公開出願番号）：特開2003-262577
出願日： 2002年03月11日
公開日（公表日）： 2003年09月19日
要約：

【要約】【課題】 試験箇所の相違による材料特性の相違の影響を受けず、かつ、試料の下地母材や支持体の影響を受けずに、薄膜や微小脆性材料等の微小領域のヤング率を高い精度で求めることのできる圧子押し込みによるヤング率評価装置を提供する。【解決手段】 試料Wに対する圧子2による負荷-除荷試験を同一位置で最大か試験力を変化させて2回以上行い、その各負荷-除荷試験の除荷過程の試験力-圧子押し込み変位データをそれぞれ用いて仮のヤング率Ej (j=1〜N)を算出し、その各仮のヤング率Ej を用いて、外挿法により試験力ゼロでのヤング率を算出することにより、試験荷重の大きさや試料Wの下地母材や支持体の影響を受けずに、試料Wの微小領域における真のヤング率を得る。

請求項（抜粋）：

試料に押し込まれる圧子と、その圧子の押し込みにより試料に試験力ゼロから連続的に設定最大試験力まで負荷を与え、かつ、その最大試験力から連続的に試験力ゼロまで除荷する負荷機構と、試料に対する圧子の刻々の押し込み変位量を測定する変位測定手段を備えた試験装置において、試料に対する圧子による負荷-除荷試験を同一試験位置で最大試験力を変化させて2回以上行う制御手段と、その試験により得られる各除荷過程の試験力-圧子押し込み変位データをそれぞれ用いて、各最大試験力ごとに試料のヤング率を算出するヤング率演算手段と、算出された2種以上のヤング率から、試験力ゼロでのヤング率を外挿法により求める外挿演算手段を備えていることを特徴とする圧子押し込みによるヤング率評価装置。