特許
J-GLOBAL ID：200903031461331627
表面形状測定装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-247605
公開番号（公開出願番号）：特開平6-094433
出願日： 1992年09月17日
公開日（公表日）： 1994年04月05日
要約：
【要約】【目的】本発明は光干渉を用いた表面形状測定装置において、波面収差等に起因する測定形状の歪を補正する方法・手段を提供し、一層の高精度測定を可能とするとともに、装置製作を容易化することによる生産性の向上・原価低減を目的とする。【構成】1つの可干渉光源より分割した光の一方を参照光、他方を被検体に照射し反射光を物体光として、両者を観測面上にて干渉させ、そのビートより被検体の表面形状を知る表面形状測定装置において、形状既知の原器を当該装置にて測定した形状と前記既知形状との差をとることで、歪を生じさせている形状オフセットを求め、以後被検体の測定形状より前記形状オフセットを減じる補正処理を行うことで、光学系の波面収差等による歪の無い、高精度な補正形状を得るように構成する。
請求項（抜粋）：
少なくとも1つの可干渉光源と、当該光源より出射した光を分割する手段,当該分割光の一方を参照光として取り出す手段および当該参照光を検出面に導く手段,当該分割光の他方を被検体に照射しその反射光を物体光として取り出す手段および当該物体光を前記検出面に導く手段,前記検出面上で前記参照光および物体光を重畳せしめることにより生じた干渉強度を検出面内複数の点で検出する検出手段,当該検出手段により得られた前記干渉強度が被検体の表面の凹凸に起因する物体光の光路長差すなわち位相差を反映していることを利用して、被検体の表面形状を得る信号処理装置および処理結果の出力装置を有する光干渉表面形状測定装置において、表面形状が既知の被検体を当該光干渉表面形状測定装置において測定し得られた形状と前記既知形状との差を、装置ごとに固有の形状オフセットとして求める手段,当該形状オフセットを記憶する手段,測定対象となる未知の被検体の測定形状より、前記記憶手段により記憶しておいた前記形状オフセットを減ずる補正処理により補正形状を得る測定形状補正手段を付加したことを特徴とする表面形状測定装置。
IPC (2件)：
G01B 11/24
, G01B 11/30 102
