特許
J-GLOBAL ID：200903031467627501
基板搬送装置
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
吉田 茂明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-152908
公開番号（公開出願番号）：特開平11-345858
出願日： 1998年06月02日
公開日（公表日）： 1999年12月14日
要約：
【要約】【課題】 基板を各処理部間で搬送する際の基板搬送装置の制御機構を簡単にすること。【解決手段】 複数の基板保持部61は、それぞれ基板Wを保持する第1アーム61aと第2アーム61bとを備えている。第1アーム61aおよび第2アーム61bの基端部分には回転軸66が嵌挿されており、モータ65が回転することによって、第1アーム61aおよび第2アーム61bは回転軸66を中心に回転動作を行う。また、複数の第1アーム61aは、基端部分に設けられた接続部材を介して第1ロッド71aに連結されており、第1ロッド71aはシリンダ64aに接続されている。複数の第2アーム61bについても同様の構成である。そして、基台63をX方向に沿って移動させるためにモータ73が設けられている。この構成により、複数の処理部間での基板搬送を同時に行うことができる。
請求項（抜粋）：
基板を所定方向に沿って配置された複数の処理部間で搬送する基板搬送装置であって、(a) 基板を保持する複数の基板保持部と、(b) 前記複数の基板保持部を同期して動作させるように前記複数の基板保持部に対して設けられた基板保持部駆動手段と、(c) 前記複数の基板保持部と前記基板保持部駆動手段とを一体として前記所定方向に移動させる処理部間搬送手段と、を備えることを特徴とする基板搬送装置。
IPC (4件)：
H01L 21/68
, B65G 49/07
, H01L 21/304 622
, H01L 21/304 648
H01L 21/68 A
, B65G 49/07 C
, H01L 21/304 622 Q
, H01L 21/304 648 A
