特許
J-GLOBAL ID：200903031468622805
光導波路型素子
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松田 正道
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-100726
公開番号（公開出願番号）：特開平6-308341
出願日： 1993年04月27日
公開日（公表日）： 1994年11月04日
要約：
【要約】【目的】 優れたステップ型の屈折率分布を持つ光導波路素子を実現すること。【構成】 ゾルーゲル法により結晶基板11上に、エッチング成形により凹溝12をもうけ、基板11より屈折率の高い、ニオブ酸リチウム、PLZT、チタン酸バリウム等結晶層13を、結晶の構成元素の金属アルコキシド溶液をディップコーティング、スピンコーティング、又はミストコーティングし、焼成して配向した結晶層を作製し、その結晶層を光導波路13としている。【効果】 数cmの長さの光導波路が一様な深さの一定の屈折率で、基板との屈折率差が大きく深くとることが可能となる。よって、単一モード光ファイバとの結合効率が、良く、挿入損失が少ない、低伝搬損失の光導波路を簡単なプロセスで再現性よく、形成することが可能となった。
請求項（抜粋）：
溝を設けた基板上に、ゾルーゲル焼成により作製した、基板より屈折率の高い酸化物誘電体層を形成してなる光導波路を備えたことを特徴とする光導波路型素子。
IPC (2件)：
G02B 6/12
, G02F 1/35 505
