特許
J-GLOBAL ID：200903031468833792
CO2センサとその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
塩入 明
, 塩入 みか
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-336194
公開番号（公開出願番号）：特開2004-170230
出願日： 2002年11月20日
公開日（公表日）： 2004年06月17日
要約：
【構成】アルミナ基板4に厚膜のNASICON膜6を成膜し、金電極8と溶融炭酸塩10とからなる検知極膜と、酸素イオン導電体のBiMeVOx対極膜112(Meは2価以上の金属元素を表す)からなる対極とを接続する。【効果】CO2センサの湿度依存性を小さくし、かつアルカリ金属イオン導電体を厚膜のNASICONで構成できるので、CO2センサの製造が容易になる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
アルカリ金属イオン導電体に、炭酸塩含有の検知極と炭酸塩を含有しない対極とを接続したCO2センサにおいて、
前記アルカリ金属イオン導電体を耐熱絶縁基板上に成膜し、かつ前記対極を酸素イオン導電体膜で構成したことを特徴とする、CO2センサ。
IPC (3件)：
G01N27/416
, G01N27/406
, G01N27/409
G01N27/46 376
, G01N27/58 Z
, G01N27/58 B
2G004BB04
, 2G004BM07
, 2G004ZA04
