特許
J-GLOBAL ID：200903031469734194
回転磁化過程における磁区模様の観察機能を有する走査型電子顕微鏡
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
矢葺 知之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-188974
公開番号（公開出願番号）：特開平5-034427
出願日： 1991年07月29日
公開日（公表日）： 1993年02月09日
要約：
【要約】【目的】 回転磁化過程での磁区挙動の観察が可能である走査型電子顕微鏡を提供する。【構成】 走査型電子顕微鏡は、回転磁化状態の軟質強磁性体表面に電子線を入射し、最大磁区コントラストが得られるように電子線に対する磁性体の向きを変える機能を有し、更に磁区画像の解析機能を有している。上記走査型電子顕微鏡により、回転磁化過程での磁区挙動を観察することができる。
請求項（抜粋）：
回転磁化状態の軟質強磁性体表面に電子線を入射し、最大磁区コントラストが得られるように電子線に対する磁性体の向きを変える機能を有し、更に磁区画像の解析機能を有することを特徴とする走査型電子顕微鏡。
IPC (4件)：
G01R 33/12
, G01R 33/028
, G01R 33/10
, H01J 37/28
