特許

J-GLOBAL ID：200903031469860165

静電チャック及びその製造方法

発明者： シャモイル シャモイリアン ,  アーナンダ エイチ クマー ,  アーノルド コーロデンコ ,  ユー ワン ,  アレクサンダー エム ヴィーツァー ,  スリンダー エス ベディー ,  カドターラ アール ナレンドルナータ ,  セミオン エル カッツ ,  デニス エス グリマード ,  ウィン エル チェン
出願人/特許権者： アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド
代理人 (1件)： 中村 稔 (外9名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-174436
公開番号（公開出願番号）：特開2001-102436
出願日： 2000年05月08日
公開日（公表日）： 2001年04月13日
要約：

【要約】【課題】 基体をチャンバ内に保持するための静電チャックとその製造方法を提供することである。【解決手段】 静電チャック55は、基体30を受入れるための表面120を有する誘電体115を含む静電部材100を備えている。誘電体は、基体を静電的に保持するように帯電可能な電極105をカバーしている。電極を帯電させるために、耐熱金属からなる電気コネクタ140を電極に接続することができる。ベース175は、セラミック及び金属のような複数の材料の複合体からなることができる。オプションとして、ベースを支持するために、空洞300を有する支持体190を設けることができる。静電部材、ベース、及び支持体の1つ以上を結合層によって接合させることができる。加熱器235を静電部材の下に、またはそれに接して位置決めすることができる。

請求項（抜粋）：

基体を保持するための静電チャックであって、上記基体を静電的に保持するように帯電可能な電極をカバーしている誘電体を含む静電部材と、上記静電部材の下に位置し、複数の材料の複合体からなるベースと、を備えていることを特徴とする静電チャック。

IPC (4件)：

H01L 21/68 ,  C23C 14/50 ,  C23C 16/458 ,  B23Q 3/15

FI (4件)：

H01L 21/68 R ,  C23C 14/50 A ,  C23C 16/458 ,  B23Q 3/15 D