特許

J-GLOBAL ID：200903031472726356

溶液の塗布装置及び供給方法

発明者： 鶴岡 保次
出願人/特許権者： 芝浦メカトロニクス株式会社
代理人 (7件)： 鈴江 武彦 ,  村松 貞男 ,  坪井 淳 ,  橋本 良郎 ,  河野 哲 ,  中村 誠 ,  河井 将次
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-211329
公開番号（公開出願番号）：特開2004-050059
出願日： 2002年07月19日
公開日（公表日）： 2004年02月19日
要約：

【課題】この発明は給液管を大径化させずに、複数のノズルヘッドに溶液をほぼ均等に供給できる溶液の塗布装置を提供することにある。【解決手段】溶液を貯えた給液タンク12と、この給液タンクに一端が接続され給液タンクに貯えられた溶液が供給される給液管13と、この給液管にそれぞれ給液バルブ15を介して並列に接続された複数のノズルヘッド7と、各ノズルヘッドが排液バルブ21を介して並列に接続され各ノズルヘッド内の気泡抜きを行なうときに上記給液管から上記ノズルヘッドに供給された溶液を排出する排液管23と、上記基板に溶液を塗布するときに上記供給タンクから上記給液管の一端に供給された溶液の一部を上記排液管に分流する分流バルブ24と、この分流バルブによって上記排液管に分流された溶液を上記給液管の他端から流入させる流入バルブ26とを具備する。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

所定方向に搬送される基板の板面に溶液を塗布する塗布装置において、 上記溶液を貯えた給液部と、 この給液部に一端が接続され給液部に貯えられた溶液が供給される給液管と、 この給液管にそれぞれ給液バルブを介して並列に接続された複数のノズルヘッドと、 各ノズルヘッドが排液バルブを介して並列に接続され各ノズルヘッド内の気泡抜きを行なうときに上記給液管から上記ノズルヘッドに供給された溶液を排出する排液管と、 上記基板に溶液を塗布するときに上記供給部から上記給液管の一端に供給された溶液の一部を上記排液管に分流する分流バルブと、 この分流バルブによって上記排液管に分流された溶液を上記給液管の他端から流入させる流入バルブと、 を具備したことを特徴とする溶液の塗布装置。

IPC (5件)：

B05C11/10 ,  B05B1/14 ,  B05D1/26 ,  G03F7/16 ,  H01L21/027

FI (5件)：

B05C11/10 ,  B05B1/14 Z ,  B05D1/26 Z ,  G03F7/16 501 ,  H01L21/30 564Z

Fターム (29件)：

2H025AB13 ,  2H025AB16 ,  2H025EA04 ,  4D075AC06 ,  4D075AC07 ,  4D075DB13 ,  4D075DB14 ,  4D075DC22 ,  4D075DC24 ,  4D075EA05 ,  4F033AA01 ,  4F033AA14 ,  4F033BA03 ,  4F033CA01 ,  4F033DA05 ,  4F033EA03 ,  4F033GA01 ,  4F033GA11 ,  4F042AA01 ,  4F042AA06 ,  4F042AB00 ,  4F042CA01 ,  4F042CB03 ,  4F042CB08 ,  4F042CB10 ,  4F042CB20 ,  5F046JA02 ,  5F046JA03 ,  5F046JA27

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特公平3-071021
  
• インクジェット記録装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-234669   出願人：キヤノン株式会社
• 特開平3-293152