特許

J-GLOBAL ID：200903031474364400

ステージ装置および露光装置

発明者： 吉元 宏充
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 志賀 正武 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-145325
公開番号（公開出願番号）：特開2002-343850
出願日： 2001年05月15日
公開日（公表日）： 2002年11月29日
要約：

【要約】【課題】 移動体の移動に際して、この移動体に保持される基板の位置ずれを防止する。【解決手段】 保持面に基板Rを保持して移動する移動体Hを備える。保持面に沿って基板Rに力を付与する付勢装置16、17と、移動体Hの移動に伴う基板Rの慣性力に基づいて付勢装置16、17を制御する制御装置とを有する。

請求項（抜粋）：

保持面に基板を保持して移動する移動体を備えたステージ装置であって、前記保持面に沿って前記基板に力を付与する付勢装置と、前記移動体の移動に伴う前記基板の慣性力に基づいて前記付勢装置を制御する制御装置とを有することを特徴とするステージ装置。

IPC (4件)：

H01L 21/68 ,  G03F 7/22 ,  G12B 5/00 ,  H01L 21/027

FI (4件)：

H01L 21/68 K ,  G03F 7/22 H ,  G12B 5/00 T ,  H01L 21/30 503 A

Fターム (34件)：

2F078CA02 ,  2F078CA08 ,  2F078CB09 ,  2F078CB12 ,  2F078CC01 ,  2F078CC11 ,  5F031CA01 ,  5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031CA07 ,  5F031HA02 ,  5F031HA13 ,  5F031HA16 ,  5F031HA24 ,  5F031HA27 ,  5F031HA29 ,  5F031HA30 ,  5F031HA53 ,  5F031HA55 ,  5F031JA02 ,  5F031JA06 ,  5F031JA14 ,  5F031JA17 ,  5F031JA32 ,  5F031KA06 ,  5F031KA08 ,  5F031LA03 ,  5F031LA04 ,  5F031LA07 ,  5F031LA08 ,  5F031MA27 ,  5F046CC03 ,  5F046CC13 ,  5F046CC18