電子線装置及び該装置を用いたデバイス製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：社本一夫 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-155224
公開番号（公開出願番号）：特開2002-352763
出願日： 2001年05月24日
公開日（公表日）： 2002年12月06日
要約：

【要約】【課題】レンズ・偏向系の真空度が低いときにも電子銃部の真空度を高く保持しつつ、正イオンによる電子銃のカソードの破損を防止する。【解決手段】マルチビーム・マルチカラムの構造を有する電子線装置に関する。該電子線装置では、カソード3の複数の突起から複数の電子ビームを放出する電子銃部1と該複数の電子ビームを試料の面上に結像させる電子光学系Yとを有する鏡筒32が複数並設される。電子線装置は、電子銃部1と複数の電子光学系Yとの間を仕切ると共に複数の電子ビームが通過可能な孔8を有する仕切板Sを更に備える。複数の電子ビームが、対応する各々の電子光学系の光軸を中心とする円周上に配置される。

請求項（抜粋）：

複数の電子ビームを形成する電子ビーム形成手段と該複数の電子ビームを試料の面上に結像させる電子光学系とが夫々複数並設された電子線装置であって、前記電子ビーム形成手段と前記複数の電子光学系との間を仕切ると共に前記複数の電子ビームが通過可能な孔を有する、少なくとも2つの電子光学系に共通した仕切板を更に含み、前記複数の電子ビームは、対応する各々の電子光学系の光軸を中心とする円周上に配置されることを特徴とする、電子線装置。

IPC (8件)：

H01J 37/28 , G01B 15/00 , G03F 1/08 , H01J 37/06 , H01J 37/09 , H01J 37/29 , H01L 21/027 , H01L 21/66

FI (8件)：

H01J 37/28 B , G01B 15/00 B , G03F 1/08 S , H01J 37/06 A , H01J 37/09 A , H01J 37/29 , H01L 21/66 J , H01L 21/30 541 B

Fターム (33件)：

2F067AA54 , 2F067AA62 , 2F067BB01 , 2F067BB04 , 2F067CC16 , 2F067CC17 , 2F067EE18 , 2F067HH06 , 2F067HH13 , 2F067JJ05 , 2F067KK04 , 2F067KK08 , 2F067LL02 , 2F067NN03 , 2F067NN06 , 2F067QQ02 , 2F067UU01 , 2H095BA08 , 2H095BD02 , 2H095BD14 , 4M106AA01 , 4M106BA02 , 4M106CA39 , 4M106CA41 , 4M106DB18 , 5C030BC06 , 5C033BB02 , 5C033UU02 , 5C033UU04 , 5F056AA33 , 5F056AA35 , 5F056EA12 , 5F056EA16

前のページに戻る