特許
J-GLOBAL ID：200903031478673459

エア-ナイフおよびエア-ナイフを用いた処理装置

発明者：
佐藤 均

佐藤 均 について

, 
広瀬 治道

広瀬 治道 について


出願人/特許権者：
株式会社芝浦製作所

株式会社芝浦製作所 について


代理人 (1件)： 鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-161570
公開番号（公開出願番号）：特開平7-066100
出願日： 1993年06月30日
公開日（公表日）： 1995年03月10日
要約：
【要約】【目的】この発明は処理液が処理室から流出したり、他の処理室に持ち込まれるのを防止するために、被処理物に圧縮空気を吹き付けるために用いられるエア-ナイフ設置スペ-スを小さくできるようにすることにある。【構成】 基板28に圧縮空気を吹き付けるためのエア-ナイフ32において、上記圧縮空気が供給される導入路34が形成されたナイフ本体33を有し、上記導入路の先端部34aは上記ナイフ本体の厚さ方向一方側に向かって屈曲し、その先端は上記ナイフ本体の先端面に開口してなることを特徴とする。
請求項（抜粋）：
被処理物に圧縮空気を吹き付けるためのエア-ナイフにおいて、上記圧縮空気が供給される導入路が形成されたナイフ本体を有し、上記導入路の先端部は上記ナイフ本体の厚さ方向一方側に向かって屈曲し、その先端は上記ナイフ本体の先端面に開口してなることを特徴とするエア-ナイフ。
IPC (4件)：
H01L 21/027 ,  B08B 5/02 ,  F26B 21/00 ,  H01L 21/304 361
引用特許：
審査官引用 (26件)
  • 特開平1-267040
  • 特開平1-267040
  • 特開平1-267040
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM