特許

J-GLOBAL ID：200903031481669659

ヘッドチップ取付誤差の検出方法

発明者： 近藤 道雄
出願人/特許権者： 大同特殊鋼株式会社
代理人 (1件)： 守田 賢一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-322827
公開番号（公開出願番号）：特開2002-133622
出願日： 2000年10月23日
公開日（公表日）： 2002年05月10日
要約：

【要約】【課題】 安価でかつ効率の良いヘッドチップ取付誤差の検出方法を提供する。【解決手段】 不透明なヘッドチップ1の薄膜基板11の底辺に沿った左右位置に基板厚み方向へ貫通する円形の透明部12,13を形成し、ヘッドチップ1を取り付けた支持ビーム3を位置決めした状態で基板11面に平行光Lを照射する。して、透明部12,13を通過した平行光Lにより生じる光スポットSP1,SP2の入射位置変化より、ヘッドチップ1の取付け誤差を検出する。

請求項（抜粋）：

不透明なヘッドチップの薄膜基板の一部に基板厚み方向へ貫通する透明部を形成し、ヘッドチップを取り付けた支持ビームを位置決めした状態でヘッドチップの基板面に光を照射して、透明部を通過した光により生じる光スポットの入射位置変化より、ヘッドチップの取付け誤差を検出することを特徴とするヘッドチップ取付誤差の検出方法。