特許

J-GLOBAL ID：200903031481990490

固体表面間の接続方法およびそれを用いた素子

発明者： 三矢 宗久 ,  和田 恭雄 ,  橋詰 富博
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-118657
公開番号（公開出願番号）：特開平9-307157
出願日： 1996年05月14日
公開日（公表日）： 1997年11月28日
要約：

【要約】【課題】本発明は真空内部にある異なる物質からなる固体表面間を分子で機械的あるいは電気的に接続することを目的とする。【解決手段】本発明においては目的とする分子を吸着さすべき活性部位を予め固体表面に形成しておく。しかる後に真空内に多官能性分子を導入すると該分子は真空中の拡散と活性部位への選択的吸着により固定される。その結果、相対する固体表面間の分子による接続が実現される。【効果】 本発明は活性部位への分子の自発的な吸着現象を利用しているため、分子を一つづつ操作する必要がない。従って効率的な分子の集積が可能となる。

請求項（抜粋）：

多官能性分子を気相あるいは液相から複数の固体表面間に吸着させることを特徴とする固体表面間の接続方法。

IPC (6件)：

H01L 51/00 ,  H01L 21/203 ,  H01L 21/285 ,  H01L 21/288 ,  H01L 29/06 ,  H01L 29/68

FI (6件)：

H01L 29/28 ,  H01L 21/203 M ,  H01L 21/285 Z ,  H01L 21/288 M ,  H01L 29/06 ,  H01L 29/68