特許
J-GLOBAL ID：200903031484695570
プローブ装置
発明者：
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
井上 一 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-126898
公開番号（公開出願番号）：特開平7-312382
出願日： 1994年05月17日
公開日（公表日）： 1995年11月28日
要約：
【要約】【目的】 検査工程中にパッドに対するプローブ針の接触状態を検出することができる構造を備えたプローブ装置を提供をすること。【構成】 電極パッドに接触することにより形成されたプローブ針の針跡を撮像するイメージセンサ18と、イメージセンサ18からの出力信号により、電極パッド上での針跡の面積および位置を算出する算出部22と、算出された針跡および針跡面積の少なくとも一方を記憶する記憶部22と、記憶部22に記憶された針跡位置および針跡面積の少なくとも一方に基づいてプローブ針と電極パッドとの接触状態の良否を判別する判定部28とを含む判別処理部20を備えている。これにより、形成された針跡による接触状態の良否をほぼ自動的に判定することが可能になる。
請求項（抜粋）：
半導体ウエハ上に形成されている素子の電極パッドに接触可能なプローブ針を備えたプローブ装置において、上記電極パッドに接触することにより形成されたプローブ針の針跡を撮像するイメージセンサと、上記イメージセンサからの出力信号により、電極パッド上での針跡の面積および針跡の位置を算出する算出部と、上記算出部によって算出された面積および針跡位置を記憶する記憶部と、上記記憶部に記憶された針跡位置および針跡面積の少なくとも一方に基づいてプローブ針と電極パッドとの接触状態の良否を判別する判定部と、を有する判別処理部を備えていることを特徴とするプローブ装置。
IPC (2件)：
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