特許

J-GLOBAL ID：200903031492405661

プラズマ発生装置

発明者： 豊田 一行
出願人/特許権者： 国際電気株式会社
代理人 (1件)： 三好 祥二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-187097
公開番号（公開出願番号）：特開平7-022322
出願日： 1993年06月30日
公開日（公表日）： 1995年01月24日
要約：

【要約】【目的】反応室に発生されるプラズマの密度、密度分布の変更を容易に実現できるプラズマ発生装置を提供する。【構成】反応室3上部にプラズマ発生用コイル15を複数設け、該コイルに高周波電力を印加する様にし、複数のコイルの配置、巻き数、数、高周波電力の印加状態を適宜変更することで、プラズマの発生密度、密度分布を変更する。

請求項（抜粋）：

反応室上部にプラズマ発生用コイルを複数設け、該コイルに高周波電力を印加する様構成したことを特徴とするプラズマ発生装置。