特許
J-GLOBAL ID：200903031492483751
力学量センサ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐藤 強
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-029807
公開番号（公開出願番号）：特開平11-230982
出願日： 1998年02月12日
公開日（公表日）： 1999年08月27日
要約：
【要約】【課題】 梁部により支持されたおもり可動電極が自重によって垂れ下がる現象を防止して、そのおもり可動電極及びこれと対向された固定電極間の距離変化に基づいて力学量を検出する際の検出信頼性を向上させること。【解決手段】 支持基板12上のアンカー部15に梁部16を介して支持されたおもり可動電極17は、加速度の印加に応じて支持基板12の表面と平行な二次元平面方向へ自由に変位するようになっており、所定レベル以上の加速度が印加されたときに、支持基板上の固定電極14と接触するようになっている。おもり可動電極17の上面には、環状の磁性体19が設けられる。支持基板12、固定電極、可動電極17などより成る加速度センサ1を収納するためのケース24のキャップ24aの下面には、磁性体19に対し、おもり可動電極を持ち上げる方向の吸引力を作用させる磁石23が設けられる。
請求項（抜粋）：
支持基板上のアンカー部に対し弾性変形可能な梁部によって支持され、力学量の作用に応じて水平方向へ変位可能に設けられたおもり可動電極と、前記支持基板上に前記おもり可動電極と所定間隔を存して対向するように配置された固定電極とを備え、前記おもり可動電極と固定電極との間の距離変化に基づいて当該おもり可動電極に作用する力学量を検出するようにした力学量センサにおいて、前記おもり可動電極と一体的に設けられた磁性体と、前記おもり可動電極の上方に、前記磁性体に吸引力を作用させるように配置された磁石とを備えたことを特徴とする力学量センサ。
引用特許：
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