窒化ガリウムの製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-220937
公開番号（公開出願番号）：特開2002-029713
出願日： 2000年07月21日
公開日（公表日）： 2002年01月29日
要約：

【要約】【課題】本発明は、高純度の単層窒化ガリウムを得ることを課題とする。【解決手段】三酸化二ガリウムを、アンモニアガス雰囲気下で窒化反応させることを特徴とする窒化ガリウムの製造方法。

請求項（抜粋）：

三酸化二ガリウムを、アンモニアガス雰囲気下で窒化反応させることを特徴とする窒化ガリウムの製造方法。

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