特許

J-GLOBAL ID：200903031512154776

レーザ開孔装置

発明者： 長森 敏 ,  林 栄吉
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (1件)： 高田 守
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-042795
公開番号（公開出願番号）：特開平5-237681
出願日： 1992年02月28日
公開日（公表日）： 1993年09月17日
要約：

【要約】【目的】 ワークとレーザビーム間に設けられて、レーザビームを反射させるマスク部材の寿命を延長させ、高精度の開孔を維持できるレーザ開口装置を得る。【構成】 ワーク3と照射レーザビーム1間に該レーザビーム1を反射する材料で構成され所定の孔5を有するマスク部材8を設け、該マスク部材を低熱膨張材とし、マスク部材8の表面に該レーザビーム1に対する高反射材の被覆9を施す。

請求項（抜粋）：

ワークと照射レーザビーム間に該レーザビームを反射する材料で構成され所定の孔を有するマスク部材を設け、該マスク部材に設けられた孔を通過するレーザビームによりワークに開孔を行う装置において、該マスク部材を低熱膨張材とし、マスク部材の表面に該レーザビームに対する高反射材の被覆を施したことを特徴とするレーザ開孔装置。

IPC (3件)：

B23K 26/00 330 ,  B23K 26/06 ,  B23K 26/16

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭61-229492
  
• 特開昭57-032891
  
• 特開昭61-020679