特許
J-GLOBAL ID:200903031540739623
ビームスプリッタおよび光分岐回路
発明者:
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出願人/特許権者:
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代理人 (1件):
山内 梅雄
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-313455
公開番号(公開出願番号):特開平7-168009
出願日: 1993年12月14日
公開日(公表日): 1995年07月04日
要約:
【要約】【目的】 およそ45度の入射された光に対して、その偏光状態に依存しない一定の割合で光を分岐することができるビームスプリッタを提供する。【構成】 基板11および各層121 ないし125 の屈折率n1 ないしn5 が、nG =1.5、n1 =2.1、n2 =2.3、n3 =1.45、n4 =2.3、n5 =1.45という関係をほぼ満たし、中心波長λの光がおよそ45度の入射角で入射されたときのi番の層における屈折角をθi としたときに、各層の幾何学的厚さdi が、ni di cos(θi )=λ/4という関係を満たすように構成する。
請求項(抜粋):
屈折率nG を有する基板上に、屈折率n1 ないしn5 のそれぞれ幾何学的厚さd1 ないしd5 を有する膜を順に積層した光学多層膜であって、基板および各層の屈折率が、nG =1.5、n1 =2.1、n2 =2.3、n3 =1.45、n4 =2.3、n5 =1.45という関係をほぼ満たし、中心波長λの光がおよそ45度の入射角で入射されたときのi番の層における屈折角をθi としたときに、各層の幾何学的厚さdi が、ni di cos(θi )=λ/4という関係を満たすものであることを特徴とするビームスプリッタ。
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