特許

J-GLOBAL ID：200903031540940051

個片の表面に合金被膜を蒸着形成するための真空蒸着方法

発明者： 菊川 篤
出願人/特許権者： 株式会社NEOMAX
代理人 (3件)： 清水 善廣 ,  阿部 伸一 ,  辻田 幸史
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-301908
公開番号（公開出願番号）：特開2007-154310
出願日： 2006年11月07日
公開日（公表日）： 2007年06月21日
要約：

【課題】 種々の金属組成の合金被膜を希土類系永久磁石などの個片の表面に簡易に蒸着形成するための方法を提供すること。【解決手段】 本発明の真空蒸着方法は、金属Aと金属Bの2種類の金属を少なくとも含む合金被膜(但し金属Bは金属Aよりも高蒸気圧である)を被処理物である個片の表面に蒸着形成するための真空蒸着方法であって、真空処理室の内部の被膜原料溶融蒸発部において、坩堝内の金属Aの固体と坩堝の直上方に所定の送り速度で案内される金属Aと金属Bを含む合金ワイヤーに対して電子線を照射し、金属Aの固体と合金ワイヤーを同時に溶融蒸発させることで、合金ワイヤーの送り速度に応じた金属組成の合金被膜を被膜原料溶融蒸発部の上方に位置する個片の表面に蒸着形成することを特徴とするものである。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

金属Aと金属Bの2種類の金属を少なくとも含む合金被膜(但し金属Bは金属Aよりも高蒸気圧である)を被処理物である個片の表面に蒸着形成するための真空蒸着方法であって、真空処理室の内部の被膜原料溶融蒸発部において、坩堝内の金属Aの固体と坩堝の直上方に所定の送り速度で案内される金属Aと金属Bを含む合金ワイヤーに対して電子線を照射し、金属Aの固体と合金ワイヤーを同時に溶融蒸発させることで、合金ワイヤーの送り速度に応じた金属組成の合金被膜を被膜原料溶融蒸発部の上方に位置する個片の表面に蒸着形成することを特徴とする真空蒸着方法。

IPC (5件)：

C23C 14/30 ,  C23C 14/14 ,  C23C 14/24 ,  C22C 21/06 ,  H01F 41/02

FI (5件)：

C23C14/30 A ,  C23C14/14 D ,  C23C14/24 D ,  C22C21/06 ,  H01F41/02 G

Fターム (15件)：

4K029AA21 ,  4K029AA22 ,  4K029AA29 ,  4K029BA23 ,  4K029BC01 ,  4K029BD00 ,  4K029DB03 ,  4K029DB04 ,  4K029DB08 ,  4K029DB09 ,  4K029EA05 ,  4K029EA08 ,  4K029EA09 ,  5E062CD04 ,  5E062CG07

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 希土類系永久磁石に対する耐塩水性付与方法および耐塩水性に優れた希土類系永久磁石
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-430784   出願人：株式会社NEOMAX