特許

J-GLOBAL ID：200903031547717650

外観検査方法及びその装置

発明者： 横山 晴彦
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 東島 隆治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-318090
公開番号（公開出願番号）：特開2000-146531
出願日： 1998年11月09日
公開日（公表日）： 2000年05月26日
要約：

【要約】【課題】 異物などの欠陥の背景にICの回路パターンがあっても、エレメントの外枠部や分離部を検査領域から除外せずに全域にわたって検査できる外観検査方法及び装置を提供する。【解決手段】 検査対象物3を撮像し、画像データを生成する工程20と、画像データをメモリに格納する工程21と、画像データを一定方向に微分計算する工程22と、微分した画像データを2値化処理する工程23とを有している。画像データを一定方向に微分計算することにより、連続的に存在するパターン等の画像データを消去して、欠陥の画像のみを検出できる。

請求項（抜粋）：

検査対象物を撮像し、画像データを生成する工程と、前記画像データをデジタルメモリに格納する工程と、前記画像データにより表示される画像上の所定の方向に連続的に存在する画像データをその所定方向に沿う位置に対して微分する工程と、微分して得られた画像データの2値化処理を行い前記検査対象物に存在する欠陥の画像の位置を検出する工程と、前記欠陥の画像の領域分割処理を行い前記欠陥の面積及び長さを計算し、所定の検査基準により前記検査対象物の良否を判定する工程とを有することを特徴とする外観検査方法。

IPC (6件)：

G01B 11/02 ,  G01B 11/30 ,  G01N 21/88 ,  G06T 3/60 ,  G06T 9/20 ,  H01L 21/66

FI (6件)：

G01B 11/02 H ,  G01B 11/30 Z ,  G01N 21/88 J ,  H01L 21/66 J ,  G06F 15/66 350 A ,  G06F 15/70 335 Z

Fターム (79件)：

2F065AA03 ,  2F065AA12 ,  2F065AA21 ,  2F065AA39 ,  2F065AA49 ,  2F065AA51 ,  2F065AA58 ,  2F065BB02 ,  2F065CC25 ,  2F065FF42 ,  2F065FF61 ,  2F065GG13 ,  2F065HH13 ,  2F065HH14 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ19 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL04 ,  2F065QQ00 ,  2F065QQ03 ,  2F065QQ07 ,  2F065QQ13 ,  2F065QQ14 ,  2F065QQ21 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ29 ,  2F065QQ34 ,  2F065RR05 ,  2F065TT02 ,  2G051AA61 ,  2G051AB01 ,  2G051AB02 ,  2G051AC04 ,  2G051CA04 ,  2G051DA07 ,  2G051DA08 ,  2G051EA08 ,  2G051EA11 ,  2G051EA12 ,  2G051EA14 ,  2G051EA20 ,  2G051EB01 ,  2G051EB02 ,  2G051FA10 ,  4M106AA04 ,  4M106BA20 ,  4M106CA38 ,  4M106DB20 ,  4M106DB21 ,  4M106DJ13 ,  4M106DJ18 ,  4M106DJ19 ,  4M106DJ21 ,  5B057AA03 ,  5B057BA02 ,  5B057CA08 ,  5B057CB06 ,  5B057CC01 ,  5B057CD03 ,  5B057CE03 ,  5B057CE12 ,  5B057CE20 ,  5B057CH11 ,  5B057DA03 ,  5B057DB08 ,  5B057DC04 ,  5B057DC16 ,  5L096AA06 ,  5L096BA03 ,  5L096CA02 ,  5L096EA16 ,  5L096EA43 ,  5L096EA45 ,  5L096FA06 ,  5L096FA09 ,  5L096FA46 ,  5L096GA02