特許
J-GLOBAL ID：200903031557071111
感光性組成物
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
萩野 平 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-348526
公開番号（公開出願番号）：特開平10-186642
出願日： 1996年12月26日
公開日（公表日）： 1998年07月14日
要約：
【要約】【課題】 感度を低下させることなく、硬調な画像形成性を示し、かつ、焼きぼけ、白灯安全性、および現像許容性の広い満足するべき、ポジ型感光性組成物を提供する。【解決手段】 少なくとも(1)水素原子がフッ素原子で置換されているフルオロ脂肪族基を側鎖に有する付加重合可能なモノマー、(2)9個以上の炭素原子を有する脂肪族基または2個以上の炭素原子を有する脂肪族基で置換された芳香族基を側鎖に有するアクリレート、メタクリレート、アクリルアミドもしくはメタアクリルアミド、(3)特定の、フェノール水酸基を有するモノマーを共重合成分として有する高分子化合物を含有することを特徴とする。
請求項（抜粋）：
少なくとも下記(1)で示される構成成分、(2)で示される構成成分および(3)で示される構成成分を共重合成分として有する高分子化合物を含有することを特徴とするポジ型感光性組成物。(1)水素原子がフッ素原子で置換されているフルオロ脂肪族基を側鎖に有する付加重合可能なモノマー(2)9個以上の炭素原子を有する脂肪族基または2個以上の炭素原子を有する脂肪族基で置換された芳香族基を側鎖に有するアクリレート、メタクリレート、アクリルアミドもしくはメタアクリルアミド(3)下記一般式〔l〕、〔2〕または〔3〕で示されるフェノール水酸基を有するモノマー【化1】(式中、Aは水素原子、ハロゲン原子または炭素数1〜4のアルキル基を表す。R1は水素原子、炭素数1〜20のアルキル基、炭素数6〜20のアリール基を表す。Y、Zは同一であっても良くまた異なっていても良く、炭素数6〜20のアリーレン基を表す。Xは連結基であり、炭素、窒素、酸素、硫黄、ハロゲン、水素原子から選ばれる原子からなる2価の有機基を表す。mは0から1の整数を、nは1から3の整数を表す。)
IPC (5件)：
G03F 7/004 504
, G03F 7/00 503
, G03F 7/022
, G03F 7/039 601
, H01L 21/027
G03F 7/004 504
, G03F 7/00 503
, G03F 7/022
, G03F 7/039 601
, H01L 21/30 502 R
