定盤面の形成装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：下田達也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-186944
公開番号（公開出願番号）：特開平7-009326
出願日： 1993年06月30日
公開日（公表日）： 1995年01月13日
要約：

【要約】【構成】平面研磨装置における定盤面の形成装置が、液体供給管18とブラシ17とからなる切粉除去手段と工具7とを備えた定盤面の形成装置。【効果】工具により面を加工、形成した定盤面に液体を供給しながら、切粉や異物をブラシで除去するようにしたので、加工後の定盤に切粉や異物が残らず、定盤を工具として使用した時、ワークを傷つけることがなく、また、研磨加工精度にも悪影響がない。

請求項（抜粋）：