特許
J-GLOBAL ID：200903031560772473
走査型プローブ顕微鏡
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
坂上 正明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-204980
公開番号（公開出願番号）：特開2002-022636
出願日： 2000年07月06日
公開日（公表日）： 2002年01月23日
要約：
【要約】【課題】 試料にアプローチを開始してから測定できる状態に至るまでの時間を短縮した走査型プローブ顕微鏡において、温度制御に伴うノイズの発生を防止してS/Nの高い観察を可能にする。【解決手段】 スキャナ外筒15の温度は温度センサ18により検知され、温度データ変換部62、サンプル・ホールド回路66、比較器63、PI制御部64および電流源65により目標温度に制御される。サンプル・ホールド回路66は、観察時以外は温度データ変換部62の出力信号をそのまま出力し、観察が開始されると温度データ変換部62の出力信号をサンプリングしてホールドし、観察中は一定の信号を出力する。
請求項（抜粋）：
筐体に固定されたスキャナ外筒と、スキャナ外筒の内部に収容されたスキャナ内筒と、スキャナ内筒の一端に設けられたカンチレバーと、前記スキャナ内筒およびスキャナ外筒の間に挿入された粘性体と、前記スキャナ外筒を加熱して前記粘性体の粘度を調整する加熱手段とを含み、前記カンチレバーの探針を試料表面で走査して試料の表面形状を観察する走査型プローブ顕微鏡において、前記スキャナ外筒の温度を代表する温度信号に基づいて前記加熱手段を制御する温度制御手段を具備し、前記温度制御手段は、前記温度信号をホールドするサンプル・ホールド回路を含み、試料を観察する際は、前記サンプル・ホールド回路によりホールドされた温度信号に基づいて前記加熱手段を制御することを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 13/10 B
, G01B 21/30
2F069AA60
, 2F069DD15
, 2F069DD30
, 2F069EE02
, 2F069GG01
, 2F069GG62
, 2F069HH04
, 2F069JJ08
, 2F069LL03
, 2F069MM38
, 2F069NN08
, 2F069RR09
