特許
J-GLOBAL ID:200903031563176260

角速度検出装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 伊東 忠彦
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-196344
公開番号(公開出願番号):特開平10-038582
出願日: 1996年07月25日
公開日(公表日): 1998年02月13日
要約:
【要約】【課題】 本発明は角速度に応じた電気信号を出力する角速度検出装置に関し、コンパクトな体格を実現することを目的とする。【解決手段】 N型半導体16-iに対してWIN面側がWGND 面側に比して高電位となるように電圧Viを印加する。N型半導体16-iの内部にWIN面からWGND面に向かう電界が発生すると、多数キャリアである電子がWIN面に向けて速度vで移動する。N型半導体16-iが角速度ωで回転していると、電子にはFC =2mvωで表されるコリオリ力FC が作用する。電子にコリオリ力FC が作用すると、電子がL(-) 面側に集められ、N型半導体16-iのL(+) 面の電位がL(-)面の電位に比して高くなる。L(+) 面とL(-) 面との電位差に基づいて角速度ωを検出する。
請求項(抜粋):
所定方向に向かう電界がその内部に作用する導体と、前記電界と直交する方向を法線方向として互いに対向配置される前記導体の両端面間に生ずる電位差を検出する電位差検出手段と、前記電位差に基づいて、前記電界の方向と前記法線方向との双方に平行な平面内での前記導体の角速度を検出する角速度検出手段と、を備えることを特徴とする角速度検出装置。
IPC (2件):
G01C 19/58 ,  G01P 9/00
FI (2件):
G01C 19/58 ,  G01P 9/00 Z

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