特許

J-GLOBAL ID：200903031563360753

走査電子顕微鏡

発明者： 野久尾 毅 ,  斉藤 昌樹 ,  龍 康夫 ,  後藤 勝人
出願人/特許権者： 日本電子株式会社 ,  東芝マイクロエレクトロニクス株式会社 ,  株式会社東芝 ,  サンユー電子株式会社
代理人 (1件)： 井島 藤治 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-355973
公開番号（公開出願番号）：特開2001-176442
出願日： 1999年12月15日
公開日（公表日）： 2001年06月29日
要約：

【要約】【課題】 本発明は走査電子顕微鏡に関し、更に詳しくは試料加工室を持つ走査電子顕微鏡に関し、一つの装置でSEM観察と試料加工を同時進行で行なうことができ、かつ処理後の試料ホルダの位置を自動的にホームポジションに戻すことができ、試料室への導入を速やかに行なうことができる走査電子顕微鏡を提供することを目的としている。【解決手段】 走査電子顕微鏡であって、該走査電子顕微鏡の試料室5とエアロックバルブ9を介して試料加工室10が設けられており、該試料加工室10内に配置された試料を傾斜・回転駆動させて加工した後、加工された試料を走査電子顕微鏡の試料室5に導入して観察するように構成する。

請求項（抜粋）：

走査電子顕微鏡であって、該走査電子顕微鏡の試料室とエアロックバルブを介して試料加工室が設けられており、該試料加工室内に配置された試料を傾斜・回転駆動させて加工した後、加工された試料を走査電子顕微鏡の試料室に導入して観察するように構成された走査電子顕微鏡。

IPC (3件)：

H01J 37/28 ,  H01J 37/20 ,  H01J 37/30

FI (3件)：

H01J 37/28 B ,  H01J 37/20 B ,  H01J 37/30 Z

Fターム (6件)：

5C001AA02 ,  5C033FF10 ,  5C033JJ07 ,  5C033MM07 ,  5C033UU03 ,  5C034AA02