特許
J-GLOBAL ID：200903031572161003
ガス分析装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
藤島 洋一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-207661
公開番号（公開出願番号）：特開平11-051840
出願日： 1997年08月01日
公開日（公表日）： 1999年02月26日
要約：
【要約】【課題】 ガスの置換作業における作業時間を短縮すると共に、ガスの置換状態の判別を確実に行うことができるようにする。【解決手段】 支管における排出すべき既存のガスの排出容量を入力部26から入力し、ここで入力された排出容量と比較して、支管からの総排出量が所定量を越えるまで、支管から排出されるガスの排出流量を、例えば最大流量になるように調整し、ガスの置換作業における作業時間の短縮を図る。また、密度センサ24を凹形状を成したガス溜まり部23に設置すると共に、密度センサ24を利用したガスの置換状態の具体的な分析を、支管から排出されるガスの流量を密度変化の検出に適した小流量に調整した状態において行うようにし、ガスの置換状態の判別を確実にして、置換状態の最終確認を容易にする。
請求項（抜粋）：
ガス配管中の既存のガスを排出して新たなガスへと置換する場合に利用され、前記ガス配管中におけるガスの置換状態を分析するガス分析装置であって、前記ガス配管から排出されるガスの排出流量を測定する流量測定手段と、この流量測定手段により測定されたガスの排出流量を積算して前記ガス配管から排出されたガスの総排出量を演算する排出量演算手段と、この排出量演算手段により演算されたガスの総排出量と、前記ガス配管中における既存のガスの容量とを比較する比較手段と、この比較手段の比較結果に基づいて前記ガス配管から排出されるガスの流量を調整するための流量調整手段と、この流量調整手段により流量調整されたガスの物理的性質の変化を検知するガス検知手段と、このガス検知手段による検知結果および前記比較手段の比較結果に基づいて前記ガス配管中におけるガスの置換状態を分析する分析手段とを備えたことを特徴とするガス分析装置。
引用特許：
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